產品編號

M1C016001

規格 & 說明

薄膜量測分析儀用標準片，於同一片基板上整合三種不同的表面性質
Mirror (鏡面)/Reference (參考基板)/SiO2(二氧化矽)

1) SiO₂ 薄膜區：
鍍膜材質：二氧化矽 (SiO₂)
膜層厚度：~ 1000 nm
用途：適用於薄膜厚度量測與校正
2)裸矽晶圓區：
未鍍膜之標準矽基板
用途：作為基準面 (Baseline) 校正
3) 鋁反射鏡區：
鍍膜材質：鋁 (Al) + SiO₂ 保護層
用途：鏡面反射率校正與量測

應用類型

以標準 Si 基板製作，於同一片基板上整合三種不同的表面性質，以便進行多樣化光學量測與校正(三合一薄膜量測校正片)
用於校準與驗證薄膜量測系統的準確性。
也可根據您的需求厚度進行客製化製作。